モノリシック集積コアシェルSiナノワイヤ架橋構造の熱起電力評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14P3-A-3

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Evaluation of Thermoelectric Voltage of Monolithically-Integrated Core-Shell Si Nanowire Bridges

著者名: 上杉 晃生(神戸大学), 西依 脩祐(神戸大学), 菅野 公二(神戸大学), 磯野 吉正(神戸大学)

著者名(英語): Akio Uesugi(Kobe University), Syusuke Nishiyori(Kobe University), Koji Sugano(Kobe University), Yoshitada Isono(Kobe University)

キーワード: シリコンナノワイヤ|コアシェル半導体|熱電変換|モノリシック集積|ゼーベック効果|Silicon nanowire|Core-shell semiconductor|Thermoelectric generation|Monolithic integration|Seebeck coefficient

要約(日本語): シリコンナノワイヤ(SiNWs)のコアシェル化が熱電変換性能に及ぼす影響を明らかにするため,SiNWsを架橋集積可能な熱起電力評価デバイスを開発し,アルミナ膜を被覆してコアシェル化した低濃度p型SiNWsの評価を行った。ボトムアップ成長させたSiNWsは,触媒粒子数に対して61%の高い架橋率を示した。評価の結果,抵抗率と温度差50度までのゼーベック係数は0.15 Ω・cmと0.6 mV/Kを示し,これらとバルク物性との比較を行った。

要約(英語): To clarify an effect of core-shell structuring on the thermoelectric conversion performance of silicon nanowires (SiNWs), an evaluation device with capability of monolithic integration of SiNWs was newly developed and Al2O3-shell-coated SiNWs were evaluated. SiNWs bridges were successfully integrated with a high yield of 61 %. Obtained resistivity and Seebeck coefficient of the alumina-shell-coated SiNWs were 0.15 Ω・cm and 0.6 mV/K, respectively.

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