プラズモニック超小型分光素子のための静電変調機構

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14P3-A-4

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Electrostatic modulation for plasmonic ultra-compact spectrometer

著者名: 大下 雅昭(電気通信大学), 斎藤 史朗(イムラ・ジャパン), 菅 哲朗(電気通信大学)

著者名(英語): Masaaki Oshita(The University of Electro-Communications), Shiro Saito(IMRA JAPAN CO., LTD.), Kan Tetsuo(The University of Electro-Communications)

キーワード: 分光|プラズモニクス|ショットキー光検出器|MEMS|近赤外|Spectroscopy|Plasmonics|Schottky photodetector|MEMS|Near infrared

要約(日本語): 小型分光器は、空間的に限定された状況での分光測定を可能にするため、盛んに研究されている。しかし、既存の小型化方式では複数の光学部品を必要としており、設置面積の縮小には限界があった。本研究では、静電機械変調により入射角に応じて検出波長を変調するプラズモン光検出器を用いた超小型分光器を提案する。本研究では、1240 nmから1310 nmの波長帯域において、この構造を用いた分光測定が可能であることを実証した。

要約(英語): Miniaturized spectrometers have been actively studied because they enable spectroscopy in spatially restricted situations. However, existing methods require multiple optical components, which limits the reduction of the footprint. Here, we propose an ultra-compact spectrometer using a plasmon photodetector that modulates the detection wavelength according to the incident angle by electromechanical modulation. We demonstrate that spectroscopy using this structure is feasible in the wavelength ran

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