不連続な Au 回折格子を用いた電流検出型 SPR センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14P3-D-2

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): CURRENT DETECTING SPR SENSOR USING DISCONTINUOUS AU GRATING FOR COMPACT CHEMICAL SENSOR

著者名: 鈴木 紳一(電気通信大学), 黒木 亮太(電気通信大学), 安永 竣(東京大学), 菅 哲朗(電気通信大学)

著者名(英語): Shinichi Suzuki(The University of Electro-Communications), Ryota Kuroki(The University of Electro-Communications), Shun Yasunaga(The University of Tokyo), Tetsuo Kan(The University of Electro-Communications)

キーワード: 表面プラズモン共鳴|ショットキー障壁|化学量センサ|回折格子|厳密結合波解析|Surface Plasmon Resonance|Schottky barrier|Chemical sensor|Grating|Rigorous Coupled Wave Analysis

要約(日本語): 本論文では、Si 上に不連続な Au 回折格子を配置した電流検出型SPRセンサを提案する。Siは近赤外光に対して透明なため、励起光はSiの裏面から入射し、Au回折格子に到達可能である。SPRによって励起された電子がSiに流れ込み、光電流が生成されセンサ信号として読み取れる。シミュレーションと実験により、鋭い感度を見出し、その有効性を検証した。入射光と試料の相互作用を排除した、裏面垂直照射型化学量センサの実現が期待できる。

要約(英語): In this paper, we propose a current-detecting SPR sensor with discontinuous Au grating on Si. NIR light from backside transmits through Si and reach the grating, where SPR is generated; then the photocurrent generated by SPR is sensed. We verified the effectiveness of the structure by simulation and experiments.

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