(100)単結晶シリコンを用いた多重リング型モードマッチ振動子

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14P3-D-4

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Mode-Matched Multi-Ring Resonator Using (100) Single Crystal Silicon

著者名: Wang Shihe(東北大学), Chen Jianlin(東北大学), 塚本 貴城(東北大学), 田中 秀治(東北大学)

著者名(英語): Shihe Wang(Tohoku University), Jianlin Chen(Tohoku University), Takashiro Tsukamoto(Tohoku University), Shuji Tanaka(Tohoku University)

キーワード: ディスク振動子|モードマッチ振動子|多重リング型|(100)単結晶シリコン|楕円形スポーク|Disk resonator|Mode matched resonator|Multi-ring|(100) single crystal silicon|Elliptic Spokes

要約(日本語): 本研究では(100)単結晶シリコンを用いた多重リング型モードマッチ振動子について報告する。楕円形スポークで多重リングを接続することで,(100)シリコンの異方性に起因する周波数ミスマッチを補償した。構造最適化により、2つのn=2ワイングラスモードの周波数をマッチングさせることが可能であり,数値計算および実験により実証した.作製した振動子の共振周波数は33.984 kHzおよび33.876 kHzでり,周波数ミスマッチは0.32%であった

要約(英語): This paper reports a novel mode-matched multi-ring disk resonator fabricated on (100) single crystal silicon. The anisotropy of stiffness was compensated by application of elliptic interconnection spokes. Two n = 2 wineglass modes could be degenerated by optimizing the structural parameters. The resonant frequencies were found at 33.984 and 33.876 kHz for n = 2 wineglass modes, which corresponds to the frequency mismatch as small as only 0.32%.

PDFファイルサイズ: 637 Kバイト