発電しながら位相情報を観測できるMEMS振動発電素子

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14P3-D-5

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): MEMS Vibrational Energy Harvester Capable of Phase Monitoring

著者名: 赤井 裕登(東京大学), 本間 浩章(東京大学), 年吉 洋(東京大学)

著者名(英語): Yuto Akai(The University of Tokyo), Hiroaki Honma(The University of Tokyo), Hiroshi Toshiyoshi(The University of Tokyo)

キーワード: MEMS|振動発電素子|エレクトレット|位相差|共振|MEMS|Vibrational energy harvester|Electret, phase difference|Phase difference|Resonance

要約(日本語): 発電しながら外部振動との位相差を観測できるエレクトレットMEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 型の振動発電素子を実現した。エレクトレット膜で被覆した櫛歯電極群の一部を分離し、素子内に発電用と位相検出用の電極を設置した。共振周波数 110 Hz の振動発電素子では、励振周波数を上昇させたときの速度位相差は-60°から-180°まで変化しており、位相情報から共振点探索が可能である。

要約(英語): We report a MEMS electret vibrational energy harvester capable of monitoring phase state variables. We separate a part of the comb-electrodes to monitor the phase of oscillation Monotonic shift of phase is observed when the frequency is swept up from the lower side of the resonance to the higher side.

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