二重拡散well構造を有するフィルタフリー波長検出センサの検証と応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14P4-A-3

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Verification of Filter-Free Wavelength Detection Sensor with Double-diffusion Structure and its Application

著者名: 仲野 翔(豊橋技術科学大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 井出 智也(豊橋技術科学大学), 髙橋 一浩(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Kakeru Nakano(Toyohashi University of Technology), Yong-Joon Choi(Toyohashi University of Technology), Tomoya Ide(Toyohashi University of Technology), Kazuhiro Takahashi(Toyohashi University of Technology), Toshihiko Noda(Toyohashi University of Technology), Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology)

キーワード: 蛍光検出法|蛍光センサ|波長検出センサ|フィルタフリー|二重拡散well|fluorescence detection|fluorescence sensor|wavelength detection sensor|filter-free|double-diffusion structure

要約(日本語): 新たな二重拡散well構造の蛍光検出センサを提案・作製した。まず、シミュレーションにて提案手法の有効性を確認し、プロセスの最適化を行った。そして、豊橋技術科学大学のLSI工場にてセンサを作製し特性評価を行った。作製したセンサは従来のものと比較して、光強度と半値幅に依存しない特性を有した。応用実験として、蛍光試薬を用いて定量評価を行った。結果より、比率にて試薬濃度と蛍光の検出が可能であることが示唆された。

要約(英語): A fluorescence detection sensor with a double diffusion well structure was fabricated. The effectiveness of the sensor was confirmed by simulation, and the sensor was fabricated at the LSI factory. The sensor had characteristics independent of light intensity and full width at half maximum. Application experiments were conducted using fluorescent reagents. The results showed that the reagent concentration and fluorescence could be detected by the ratio.

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