バルク水晶ジャイロの基本特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14P4-D-4

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Characteristics of Alpha-Quartz Bulk Gyro

著者名: 種村 晃(兵庫県立大学), 田中 勇輝(兵庫県立大学), 横松 得滋(兵庫県立大学), 神田 健介(兵庫県立大学), 藤田 孝之(兵庫県立大学), 前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Akira Tanemura(University of Hyogo), Yuki Tanaka(University of Hyogo), Tokuji Yokomatsu(University of Hyogo), Kensuke Kanda(University of Hyogo), Takayuki Fujita(University of Hyogo), Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: MEMS|ジャイロセンサ|固体マイクロジャイロ|α-クォーツ|厚み滑り振動|MEMS|gyro sensor|solid micro-gyroscope|alpha-quartz|thickness-shear vibrations

要約(日本語): 本論文では作製したバルク水晶ジャイロの基本特性について述べている。まず,デバイスに電圧を印加して駆動させ,共振時に上面と下面が逆方向に回転する振動モードが励起されているか確認を行った。次にデバイスをクランプしているとがり先ねじの締め付け圧による共振特性,温度特性の変化を調査した。最後に共振の位相を一定に維持するフィードバック制御を行い,Z軸周りに角速度を印加し,角速度の検出を試みた。

要約(英語): This paper addresses the characteristics of an alpha-quartz bulk gyroscope. The device was firstly checked for thickness-shear vibrations. The effect of the clamp was examined. At last, the device was applied angular velocity, and the output voltages generated by the Coriolis force on the upper and lower surface electrodes were obtained.

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