可動式多層膜ミラーを用いた800nm帯波長可変面発光レーザー素子

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14P5-P-16

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): 800 nm band MEMS-tunable VCSEL using movable multilayer mirror

著者名: 趙 智健(東北大学), 戸田 雅也(東北大学), 原 基揚(情報通信研究機構), 品田 聡(情報通信研究機構), 仲川 博(産業技術総合研究所), 菊地 克弥(産業技術総合研究所), 小野 崇人(東北大学)

著者名(英語): Zhijian Zhao(Tohoku University), Masaya Toda(Tohoku University), Motoaki Hara(National Institute of Information and Communications Technology), Satoshi Shinada(National Institute of Information and Communications Technology), Hiroshi Nakagawa(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology), Katsuya Kikuchi(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology), Takahito Ono(Tohoku University)

キーワード: 微小電気機械システム|垂直共振器型面発光レーザー|波長可変レーザー|可動式ミラーチップ|小型原子時計|MEMS|VCSEL|Tunable laser|Movable mirror chip|Micro atomic clock

要約(日本語): 小型原子時計用レーザー素子は、波長のトレラントが狭いため、製造コストが増加してしまう。大量生産とコスト削減を目的として、我々は可動式多層膜ミラーチップを用いて、ハイブリッド型波長可変VCSELを試作した。作製した波長可変VCSELは低しきい値電流でレーザー発振可能が確認された。波長の調整範囲は約30nmで、Rb原子時計用の795nm帯も含めているため、安価なレーザー源として一般的なVCSELを代わりに小型原子時計への適用が期待される。

要約(英語): An assembled tunable VCSEL is developed with the aim of reducing the cost and accelerate the spread of micro atomic clocks. The tuning range of 30 nm and the emission of the 795 nm laser required for the Rb atomic clock have been demonstrated at a tuning voltage around 10 V.

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