A Large Stroke Three-Degree-of-Freedom Electromagnetic Micromirror with Metallic Glass Springs

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14P5-P-21

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): A Large Stroke Three-Degree-of-Freedom Electromagnetic Micromirror with Metallic Glass Springs

著者名: Ou Chuan-Hui(Tohoku University), Nguyen Van Toan(Tohoku University), Ono Takahito(Tohoku University)

著者名(英語): Chuan-Hui Ou(Tohoku University), Van Toan Nguyen(Tohoku University), Takahito Ono(Tohoku University)

キーワード: マイクロミラー|電磁式|金属ガラス|マイクロ干渉計|大変位|Micromirror|Electromagnetic|Metallic glass|Micro-interferometer|Large stroke

要約(日本語): 本研究では、大きな変位を得られる電磁式マイクロミラーを発表した。電磁式マイクロミラーの中で最高レベルの変位を有し、独自のアクチュエータ構造によりマイクロミラーの角度を精密に制御することが可能である。得られる変位と制御可能な角度により、分光器の高分解能化を実現することができる。

要約(英語): This research presents an electromagnetic micromirror with a large stroke. The stroke reaches the highest level of electromagnetic micromirrors, and the angle of the micromirror can be controlled precisely with a unique actuation structure. The large stroke and controllable angle allow spectrometers to achieve higher resolution.

PDFファイルサイズ: 256 Kバイト