金駆動電極の紫外レーザ直接加工による任意形状変形イオンゲルMEMS アクチュエータの実現

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14P5-P-23

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Realization of flexibly deformable ionic gel MEMS actuator using ultraviolet laser direct patterning of the gold driving electrode

著者名: 中島 志温(東京大学), 山口 貴史(東京大学), 安永 竣(東京大学), 三田 吉郎(東京大学)

著者名(英語): Shion Nakajima(The University of Tokyo), Takafumi Yamaguchi(The University of Tokyo), Shun Yasunaga(The University of Tokyo), Yoshio Mita(The University of Tokyo)

キーワード: ソフトアクチュエータ|イオンゲル|紫外レーザ|金電極|部分変形制御|Soft actuator|Ionic gel|Ultraviolet laser|Gold electrodes|Designed deformation

要約(日本語): ポリマー・イオン液体・金駆動電極からなるイオンゲルアクチュエータの部分変形に必要な電極パターニング手法を開発し、電極が存在する部分のみを変形させることに成功した。紫外線レーザを片面から照射し、ゲルの透過性により両面の金を切削し電極を一度に形成した。変形特性は配線によらず、変形制御が電圧によって可能であると実証した。電極パターンの最適化により、物体を把持するマイクログリッパ等の実現が見込まれる。

要約(英語): An electrode patterning method was developed for partial deformation of an ionic gel actuator consisting of a polymer, ionic liquid, and gold electrode, and only the area where the electrode is present was successfully deformed. Optimization of the electrode pattern is expected to lead to the realization of microgrippers for grabbing objects.

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