水素ガス環境用温度センサ付き小型圧力センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14P5-P-34

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Miniaturized Pressure Sensor with Temperature Sensor for the Hydrogen Gas Environment

著者名: 皆川 直祐(日本ファインセラミックス), 水尾 仙人(日本ファインセラミックス), 丹羽 英二(電磁材料研究所)

著者名(英語): Naohiro Minakawa(Japan Fine Ceramics Co.,Ltd.), Norihito Mizuo(Japan Fine Ceramics Co.,Ltd.), Eiji Niwa(Research Institute for Electromagnetic Materials)

キーワード: 水素|ジルコニア|Cr-N薄膜|圧力センサ|温度センサ|hydrogen|zirconia|Cr-N thin film|pressure sensor|temperature sensor

要約(日本語): 水素の影響を受けないCr-N薄膜とジルコニア構造体からなり,ダイアフラム型起歪構造を有する高感度な容器内蔵型水素用圧力センサの小型化を図り,直径2mmのダイアフラムからなる4mm角で厚さ3mmの新規素子の試作に成功した。その圧力応答は直線性に優れ,約1mV/MPaの十分な感度ならびに約10気圧の下64時間保持で顕著な変化のない安定性を示した。さらに素子内に温度センサを形成し,圧力容器内の温度変化を安定で精度よく同時測定可能とした。

要約(英語): The vessel built-in type hydrogen pressure sensor element consisting of the zirconia structure body and the Cr-N thin film as miniaturized to a 4 mm square and 3 mm thickness with a 2 mm diameter diaphragm. Its pressure response showed excellent linearity, sufficient sensitivity of about 1 mV/MPa.

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