MEMSダイアフラム型超音波センサの座屈撓みと圧電分極保持特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14P5-P-38

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Buckling deflection and piezoelectric polarization retention of MEMS diaphragm structures for ultrasonic sensors

著者名: 近藤 里穂(京都工芸繊維大学), 末高 知弥(京都工芸繊維大学), 山下 馨(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Riho Kondo(Kyoto Institute of Technology), Tomoya Suetaka(Kyoto Institute of Technology), Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: 超音波センサ|圧電|強誘電体|分極|ダイアフラム|ultrasonic sensor|piezoelectric|ferroelectric|polarization|diaphragm

要約(日本語): 超音波センサを開発しており電圧を印加することで共振周波数を制御することができると同時に撓み量が変化する。電圧印加前の初期撓みが大きいとセンサ感度がよくなると考えてきたがある範囲から低下転じた。これまでの測定結果より初期撓みが大きいセンサでは分極保持特性が低下している可能性があることがわかった。今後,感度低下の原因を明らかにし作製プロセスを改善したセンサで評価することを目標としている。

要約(英語): We are developing an ultrasonic sensor, and by applying a voltage, the amount of deflection changes. We have thought that sensor sensitivity improves when the initial deflection is large. But it had declined from a certain value. It was found that in a sensor with a large initial flexion, the polarization retention characteristic may be reduced.

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