光信号除去回路を搭載したCMOSイオンイメージセンサの作製と特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 14P5-P-50

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Fabrication and Characterization of CMOS based Ion Image Sensor with Optical Signal Rejection Circuit

著者名: 本庄 瑠奈(豊橋技術科学大学), 泉保 賢汰(豊橋技術科学大学), 野田 佳子(豊橋技術科学大学), 赤井 大輔(豊橋技術科学大学), 飛沢 健(豊橋技術科学大学), 木村 安行(豊橋技術科学大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Runa Honjo(Toyohashi University of Technology), Kenta Sembo(Toyohashi University of Technology), Yoshiko Noda(Toyohashi University of Technology), Daisuke Akai(Toyohashi University of Technology), Takeshi Hizawa(Toyohashi University of Technology), Yasuyuki Kimura(Toyohashi University of Technology), Yong-joon Choi(Toyohashi University of Technology), Kazuhiro Takahashi(Toyohashi University of Technology), Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology), Toshihiko Noda(Toyohashi University of Technology)

キーワード: イオンイメージセンサ|pH計測|光信号除去|農業用センサ|相関2重サンプリング(CDS)回路|Ion image sensor|pH measurement|Optical contamination rejection|Agricultural sensors|Correlated Double Sampling (CDS)

要約(日本語): イオンイメージセンサにおける光信号を除去するため、出力信号から光信号を減算する方法を提案した。電荷転送の原理を利用し、通常のpH計測を行った後光のみを計測し、その差分をとることで光の除去を行うという手法である。この手法に基づきセンサの設計、製作および評価を行った結果、実際によく使われる3.5 V以下の参照電極電圧Vrefで光信号を十分に除去できることが実証され、光照射下でのイオンイメージングが期待できる。

要約(英語): To remove optical signals in ion image sensors, we proposed and fabricated a method to subtract optical signals from the output signal. As a result, the optical signal could be sufficiently removed at Vref below 3.5V. It is expected to be used for measurement under light irradiation.

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