MEMSピエゾ抵抗カンチレバーを用いた針型圧力センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15A2-A-3

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Needle type pressure sensor using MEMS piezoresistive cantilever

著者名: 岸本 卓大(慶応義塾大学), 高橋 英俊(慶應義塾大学)

著者名(英語): Takuto Kishimoto(Keio University), Hidetoshi Takahashi(Keio University)

キーワード: 圧力センサ|針|MEMS|医療用センサ|ピエゾ抵抗カンチレバー|pressure sensor|needle|MEMS|medical sensor|piezoresistive cantilever

要約(日本語): 本研究では体内の圧力計測のための針型圧力センサを提案する。センサは先端にパリレン膜が形成された針部を持ち,検出素子としてピエゾ抵抗カンチレバーを内蔵している。針部を目的の臓器にさすことで、体内圧を計測することが可能である。製作したセンサは圧力に対し線形に応答し、疑似的な体内圧の変化にも応答した。このことから提案したセンサが体内の圧力計測のためのセンサとして原理的に使用可能であることが分かった.

要約(英語): This study shows a needle type pressure sensor for body pressure measurement. The sensor has a needle part with a thin membrane on the tip and piezoresistive cantilever inside. Because the fabricated sensor responded to pseudo body pressure change, it was suggested that the fabricated needle type pressure sensor could detect pressure inside the body.

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