フレキシブルMEMS型触覚ディスプレイを目指したSMA厚膜アクチュエータアレイと個別通電のための有機ダイオードの形成

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15A2-A-4

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Fabrication of SMA thick-film actuator array and organic diode to individual drive for flexible MEMS tactile display

著者名: 天野 晏年(山形大学), 齋藤 涼(山形大学), 山田 将也(山形大学), 松井 弘之(山形大学), 峯田 貴(山形大学)

著者名(英語): Haruto Amano(Yamagata university), Ryo Saito(Yamagata university), Masaya Yamada(Yamagata university), Hiroyuki Matsui(Yamagata university), Takashi Mineta(Yamagata university)

キーワード: 触覚ディスプレイ|形状記憶合金|有機ダイオード|MEMS|官能評価|Tactile display|Shape memory alloy|Organic diode|MEMS|Sensory evaluation

要約(日本語): 高出力の触覚ディスプレイを目指したSMA膜アクチュエータを形成し、個別駆動のための有機ダイオードアレイの作製に取り組んだ。触覚ディスプレイを良好に作製することができ、皮膚が好感度である15~20 Hzで十分な振幅と発生力が得られた。また、簡易的な官能評価試験により、振動刺激を明確に感じることも確認した。有機ダイオードについては電極配置と形成法の見通しが得られ、良好なダイオード特性を確認した。

要約(英語): A tactile display with large amplitude and force generations was fabricated with SMA film actuator array. The device could clearly present to test subject in 15-20 Hz because the sufficient output was generated for stimuli. We also established the fabrication prosses of an organic diode array the sufficient I-V characteristics for individual driving the SMA actuators.

PDFファイルサイズ: 737 Kバイト