CMOSセンサアレイ上への微細構造形成によるせん断力イメージセンサの提案と検証

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15A2-C-4

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Evaluation and proposal of shear force image sensor with forming microstructure on CMOS sensor array

著者名: 大平 瑞季(豊橋技術科学大学), 辰巳 幸弘(豊橋技術科学大学), 村上 健介(豊橋技術科学大学), 小笠原 健(東邦化成), 清水 聡(東邦化成), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Mizuki Oodaira(Toyohashi University of Technology), Yukihiro Tatsumi(Toyohashi University of Technology,), Murakami Kensuke(Toyohashi University of Technology,), Ken Ogasahara(TOHO KASEI Co., Ltd.), Satoshi Shimizu(TOHO KASEI Co., Ltd.), Yong Joon(Toyohashi University of Technology), Kazuhiro Takahashi(Toyohashi University of Technology), Toshihiko Noda(Toyohashi University of Technology), Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology)

キーワード: せん断力|圧力イメージング|圧電素子|微細構造|電位センサアレイ|Shear force|Pressure imaging|Piezoelectric|Microstructure|Potentiometric sensor array

要約(日本語): 本研究では心筋細胞の評価に向けたせん断力イメージセンサの作製を目的とし、CMOSセンサアレイ上に圧電膜を転写した圧力イメージセンサ上に微細構造を形成することでせん断力を測定する方法を提案した。始めに構造体にせん断力が加わった際の物理シミュレーションを行い、構造体条件がセンサ出力に及ぼす影響を検討した。続いて構造体の製作、せん断力の可視化実験を行い、せん断力応答のリアルタイムイメージングに成功した。

要約(英語): In this study, we proposed a method of forming microstructures on a CMOS sensor array for the purpose of fabricating a shear force image sensor. Physical simulation, structure fabrication, and shear force measurement were performed, and the shear force was successfully imaged in real time.

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