レーザアブレーションでパターニングした極薄PTFE層を有するエレクトレットセンサの製作と空中超音波の送受信特性の評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15A2-D-2

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Fabrication of an electret sensor with an ultrathin PTFE layer patterned by laser ablation and evaluation of its transmitting and receiving characteristics for airborne ultrasound

著者名: 小林 駆(埼玉大学), 川田 良暁(埼玉大学), 蔭山 健介(埼玉大学)

著者名(英語): KAKERU KOBAYASHI(Saitama University), Y. KAWADA(Saitama University), KENSUKE KAGEYAMA(Saitama University)

キーワード: エレクトレット|超音波センサ|レーザアブレーション|PTFE|レーザパターニング|electret|ultrasonic sensor|laser ablation|PTFE|laser patterning

要約(日本語): エレクトレットを2つの電極で挟んだ電気機械交換素子であるエレクトレット・コンデンサ・センサ(ECS)を,レーザアブレーションにより絶縁電極のPTFE層にうね形状のスペーサでギャップを形成し,マイクロギャップの大きさと分布を制御することで作製した。そして,ECSの電荷保持特性および空中超音波の送受信特性について検討した。

要約(英語): The electromechanical capacitor sensors (ECS), which are an electromechanical exchange element consisting of an electret sandwiched between two electrodes, was fabricated by controlling the size and distribution of the micro gap by laser ablation. Then, the charge retention characteristics of the ECSs and the transmitting and receiving characteristics of airborne ultrasound were investigated.

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