ひずみゲージ・圧電体薄膜積層カンチレバーを用いた触覚センサの応答性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15A2-D-4

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Evaluation of Responsiveness of Tactile Sensor Using Strain Gauge and Piezoelectric Thin Film Laminated Cantilever

著者名: 水戸部 龍介(新潟大学), 佐藤 淳喜(新潟大学), 安部 隆(新潟大学), 神田 健介(兵庫県立大学), 寒川 雅之(新潟大学)

著者名(英語): Ryusuke Mitobe(Niigata University), Junki Sato(Niigata University), Takashi Abe(Niigata University), Kensuke Kanda(University of Hyogo), Masayuki Sohgawa(Niigata University)

キーワード: 触覚センサ|振動覚|PZT|NiCrひずみゲージ|カンチレバー|tactile sensor|vibration sensing|PZT|NiCr strain gauge|cantilever

要約(日本語): ヒトの触覚受容器は複数の異なる機械受容器が触覚情報を読み取っており、それにより質感の評価を行っている。本研究では、これを再現するために触覚を検知するためのマイクロカンチレバー上に、圧電体薄膜であるPZTとNiCrひずみゲージを集積させた触覚センサを作製および評価した。作製したセンサではそれぞれの検知素子で同時に荷重を検知することに成功した。

要約(英語): In this study, we fabricated and evaluated a tactile sensor that integrates piezoelectric thin films of PZT and NiCr strain gauges on a microcantilever to reproduce this tactile sensation. The fabricated sensor succeeded in sensing the load simultaneously at each sensing element.

PDFファイルサイズ: 1,098 Kバイト