Cr-N薄膜の横感度を用いた小型ロードセル

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15A2-D-5

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Miniaturized Load Cell using Transverse Sensitivity of Cr-N Thin Films

著者名: 竹野 広晃(ジオマテック), 中原 将宏(ジオマテック), 黒崎 まどか(ジオマテック), 神山 竜一(ジオマテック), 宮武 正平(ジオマテック), 伊東 孝洋(ジオマテック), 丹羽 英二(電磁材料研究所)

著者名(英語): Hiroaki Takeno(GEOMATEC CO., LTD.), Masahiro Nakahara(GEOMATEC CO., LTD.), Madoka Kurosaki(GEOMATEC CO., LTD.), Ryuichi Kamiyama(GEOMATEC CO., LTD.), Shouhei Miyatake(GEOMATEC CO., LTD.), Takahiro Ito(GEOMATEC CO., LTD.), Eiji Niwa(Research Institute for Electromagnetic Materials)

キーワード: Cr-N薄膜|ひずみセンサ|ロードセル|横感度|ダイアフラム|Cr-N thin film|strain sensor|load cell|transverse sensitivity|diaphragm

要約(日本語): 我々は小型で高耐荷重なロードセルの開発を進めている。本研究では,横感度の大きいCr-N薄膜を周方向配置した外径4 mmのダイアフラム素子を用いたロードセルを試作評価した。その結果,測定出力の変化が構造解析から計算した合成ひずみ量の正負と整合すること、および約20 Nまで精度よく測定できることを確認した。さらに、ダイアフラムの隔膜部の厚さ増加および高耐力材質の使用により,ロードセルの高耐荷重化の可能性を見出した。

要約(英語): We fabricated small-sized (4 mm in diameter) and high-capacity load cells using Cr-N thin films. To evaluate its characteristics, the resistance of Cr-N elements was measured by applying an external force. It is demonstrated that our load cells can function in the force range up to about 20 N.

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