荷重ベクトル計測のための触覚センサのカンチレバー設計最適化による高感度化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15A3-A-5

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Optimization Cantilever Design of Tactile Sensor to Enhance Sensitivity for Force Vector Measurement

著者名: 川崎 雄記(新潟大学), 高橋 佑司(新潟大学), 安部 隆(新潟大学), 野間 春生(立命館大学), 寒川 雅之(新潟大学)

著者名(英語): Yuki Kawasaki(Niigata University), Yuji Takahashi(Niigata University), Takashi Abe(Niigata University), Haruo Noma(Ritsumeikan university), Masayuki Sohgawa(Niigata university)

キーワード: 触覚センサ|カンチレバー|荷重ベクトル|MEMS|ひずみゲージ|Tactile sensor|Cantilever|Force vector|MEMS|Strain gauge

要約(日本語): 本研究では、微小カンチレバー型 MEMS 触覚センサの感度向上を目的とし、カンチレバーの設計改良と試作評価を行った。さらに荷重のベクトル計測のため、カンチレバーを封止しているエラストマ半球に対して 360 度方向からのせん断荷重印加試験を行った。その結果、新設計センサは従来と比較して約 6 倍感度が向上し、各カンチレバーの向きと印加せん断荷重の向きに応じた応答が得られ、高感度に荷重ベクトルを計測可能であると示された。

要約(英語): This paper addresses the microcantilever-type MEMS tactile sensor with improved design of the cantilever. As a result, the newly designed sensor is about 6 times more sensitive than the previous one, and that it can measure the load vector with high sensitivity by obtaining a response corresponding to the direction of each cantilever and the direction of the applied horizontal load.

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