オンチップ検出に向けたグラフェン表面応力センサの検出回路一体化と 腫瘍マーカー検出

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15A3-C-5

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Detection of tumor marker and integration of the detection circuit of graphene surface stress sensor for on-chip measurement

著者名: 新野 謙(豊橋技術科学大学), 古澤 絵里子(豊橋技術科学大学), 前田 智也(豊橋技術科学大学), 野田 佳子(豊橋技術科学大学), 赤井 大輔(豊橋技術科学大学), 飛沢 健(豊橋技術科学大学), 容俊 崔(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Ken Arano(Toyohashi University of Technology), Eriko Furusawa(Toyohashi University of Technology), Tomoya Maeda(Toyohashi University of Technology), Yoshiko Noda(Toyohashi University of Technology), Daisuke Akai(Toyohashi University of Technology), Takeshi Hizawa(Toyohashi University of Technology), Choi Yong-Joon(Toyohashi University of Technology), Toshihiko Noda(Toyohashi University of Technology), Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology), Kazuhiro Takahashi(Toyohashi University of Technology)

キーワード: グラフェン|光干渉|表面応力|CMOS-MEMS|バイオセンサ|Graphene|Optical interference|Surface stress sensor|CMOS-MEMS|Biosensor

要約(日本語): 非標識に生体分子を検出する小型センサとして、グラフェン型表面応力センサを提案している。可動膜であるグラフェン下部にフォトダイオードを用いることで、膜の変形による透過光の変化を測定し、電気的に分子検出できると考えられる。先行研究では、検出回路上において架橋構造の形成に成功した。本研究では、Si基板上の架橋グラフェンと検出回路を用いて、膜の変化による反射光の変化を測定しオンチップ検出の可能性を示した。

要約(英語): As a small sensor that detects biomolecules unlabeled, a graphene-based surface stress sensor is proposed. By using a photodiode under graphene, which is a movable film, it is considered that changes in transmitted light due to deformation of the membrane can be measured and molecules can be detected electrically. In the previous research, we succeeded in forming a suspended structure on the detection circuit. In this study, using suspended graphene on a Si substrate and a detection circuit, we

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