Siカンチレバー上のナノダイヤモンドによる静磁場下1軸応力センシング

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15A3-D-1

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Nanodiamond based one dimensional stress sensing on Si cantilever under static magnetic field

著者名: 山川 幹太(東北大学), 小野 崇人(東北大学), 戸田 雅也(東北大学)

著者名(英語): Kanta Yamakawa(Tohoku University), Takahito Ono(Tohoku University), Masaya Toda(Tohoku university)

キーワード: ダイヤモンドNVセンター|応力センサ|カンチレバーセンサ|ナノダイヤモンド|電子スピン共鳴|Diamond NV center|Stress sensor|Cantilever sensor|Nano-diamond|Electron spin resonance

要約(日本語): 我々は表面に固定したナノダイヤモンド応力センサでカンチレバーの振動を検出するセンサの開発を進めている.今回,静磁場下で4本に分離したピークシフトとカンチレバーの振動による1軸応力強度の依存性を評価した.その結果,ダイヤモンドNVセンターの蛍光強度スペクトルによりカンチレバーの振動状態を検出できることが示された.

要約(英語): We have developed the combined device that detects the vibration of a cantilever force probe with a nanodiamond stress sensor fixed on the surface of the cantilever, and we evaluated the dependence of the uniaxial stress intensity on the peak shift of the four separated fluorescence intensity spectra and the vibration of the cantilever. As a result, it was shown that the surface stress of the cantilever can be measured by the fluorescence intensity spectrum of the diamond NVC.

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