マイクロピッチ圧電素子アレイを用いた分布型触覚センサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15P2-P-18

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Development of distributed tactile sensor using micro-pitch piezoelectric element array

著者名: 加藤 大喜(関西大学), 鈴木 昌人(関西大学), 高橋 智一(関西大学), 青柳 誠司(関西大学)

著者名(英語): Daiki Kato(Kansai University), Masato Suzuki(Kansai University), Tomokazu Takahashi(Kansai University), Seiji Aoyagi(Kansai University)

キーワード: 触覚センサ|センサアレイ|圧電薄膜|分布力測定|3次元光造形|tactile sensor|sensor array|piezoelectric film|distributed force measurement|three-dimentional optical prototyping

要約(日本語): インクジェットプリンタのプリンタヘッドデバイスとして利用されているPZT圧電アクチュエータアレイとMEMS技術により作製されるピン構造を組み合わせて接触による分布荷重を検出可能なセンサを提案した。また、3次元光造形装置を利用してアレイ状のピン構造を作製し、プリンタヘッドデバイスと組み合わせてセンサを作製した。このセンサに正弦波振動を印加すると振動の振幅と周波数に比例する電圧信号が出力されることを確認した。

要約(英語): We propose a sensor that can detect distributed contact load by combining a PZT piezoelectric element array used as an inkjet printer head device with a pin structure array fabricated by MEMS technology. The pin structure was fabricated using a three-dimensional lithography system combined with the piezoelectric elements in this study. When sinusoidal vibration was applied to the sensor, it was confirmed that a voltage signal proportional to the amplitude and frequency of vibration was output.

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