磁気熱電効果を応用したフレキシブル薄膜熱流センサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15P2-P-22

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Development of flexible thin-film heat flow sensor based on magneto-thermoelectric effect

著者名: 田畑 裕太郎(SEMITEC), 稲村 修司(SEMITEC), 周 偉男(物質・材料研究機構), 田口 勝久(SEMITEC), 折戸 学(SEMITEC), 桜庭 裕弥(物質・材料研究機構)

著者名(英語): Tabata Yutaro(SEMITEC Corporation), Inamura Shuji(SEMITEC Corporation), Zhou Weinan(National Institute for Materials Science), Taguchi Katsuhisa(SEMITEC Corporation), Orito Manabu(SEMITEC Corporation), Sakuraba Yuya(National Institute for Materials Science)

キーワード: 省エネルギー|熱流センサ|異常ネルンスト効果|フレキシブル|大面積|energy conservation|heat flux sensor|anomalous Nernst effect|flexible|large surface area

要約(日本語): 様々な分野で省エネルギー化への関心が高まっている中、より高速・高精度な温度制御を可能とする熱流センサの応用が期待されている。しかし、現在市販されている熱流センサには測定原理に由来する多くの問題がある。本報では、それらの問題を一挙に解決することのできる異常ネルンスト効果を応用した新型フレキシブル薄膜熱流センサの開発と、大面積化による出力感度向上を試みた結果を記す。

要約(英語): This research describes the development of a new type of flexible thin-film heat flux sensor based on the anomalous Nernst effect that can solve the problems of conventional technology and the result of an attempt to improve sensitivity by expanding the sensing area.

PDFファイルサイズ: 747 Kバイト