光干渉を用いた手術ロボット用小型力センサの一括作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15P2-P-23

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Batch fabrication of miniature force sensors for surgical robots using optical interference

著者名: 樫村 祐貴(東北大学), 鶴岡 典子(東北大学), 芳賀 洋一(東北大学)

著者名(英語): YUKI KASHIMURA(Tohoku University), NORIKO TSURUOKA(Tohoku University), YOICHI HAGA(Tohoku University)

キーワード: RIE|結晶異方性エッチング|光ファイバ圧力センサ|力センサ|手術ロボット|Reactive Ion Etching|crystal anisotropic etching|fiber-optic pressure sensors|force sensors|surgical robots

要約(日本語): 本論文では、MEMS技術を用いて光干渉を用いた小型力センサの量産化を目指す手法を提案する。先行研究ではセンサの術具への搭載実験まで行われたが、量産化が難しいという問題があった。そこで、新規作製手法として、SiのRIEや結晶異方性エッチングを用いた一括作製を試みた。また、作製の簡易化のために、部品数を減らした新規構造での作製も試み、量産化への可能性が示された。

要約(英語): This paper aims for batch fabrication method for of miniature force sensors using optical interference with MEMS technology. In a previous study, batch fabrication of the sensors was difficult. Therefore, a new fabrication method and a new structure for batch fabrication of the sensors were proposed and fabricated.

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