紫外プラズモン共鳴を用いたオゾン・アンモニアガスセンサ素子の開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15P2-P-26

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Development of ozone and ammonia gas sensor using ultraviolet plasmon resonance

著者名: 渡邉 凌(東京農工大学), 松田 涼(東京農工大学), 池沢 聡(東京農工大学), 岩見 健太郎(東京農工大学)

著者名(英語): Ryo Watanabe(Tokyo University of Agriculture and Technology), Ryo Matsuda(Tokyo University of Agriculture and Technology), Satoshi Ikezawa(Tokyo University of Agriculture and Technology), Kentaro Iwami(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: プラズモン共鳴|有限要素法解析|電磁場解析|紫外線|ガスセンサ|Plasmon Resonance|FEM Simulation|Electromagnetic Field Calculation|Ultraviolet|Gas sensor

要約(日本語): 本研究では,紫外域でのプラズモン共鳴による吸収を利用して,選択した波長に吸収ピークを持つ光学式ガスセンサ素子を製作した。この素子の構造は,ガラス基板上に1枚のナノスケールのAlプレートを垂直に並べたものである。COMSOL Multiphysics 6.0での有限要素法による電磁場解析を用いて,オゾンとアンモニアの吸収波長に一致した波長でプラズモン共鳴を誘起可能な構造寸法を設計した。設計寸法をもとに素子の製作と構造の観察を行った。

要約(英語): This study reports on the development of an optical gas sensor device with an absorption peak at a selected wavelength using UV plasmon resonance absorption. The structure of the gas sensor device consists of a single nanoscale Al plate vertically aligned on a glass substrate. Using finite element electromagnetic field analysis, we designed structural dimensions that can induce plasmon resonance at wavelengths matching the absorption wavelengths of ozone and ammonia. Using the structural dimensi

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