自律アラート機能を有した超低コスト水素センサデバイスの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15P2-P-27

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Development of an ultra-low cost hydrogen gas sensor device with a autonomous alerting function

著者名: 岡崎 慎司(横浜国立大学), 笠井 尚哉(横浜国立大学)

著者名(英語): Shinji Okazaki(Yokohama National University), Naoya Kasai(Yokohama National University)

キーワード: 水素センサ|自律アラート|多点センシング|常温動作|電気抵抗式ガスセンサ|Hydrogen sensor|Autonomous alerting|Multipoint sensing|Room temperature operation|Electrical resistance type gas sensor

要約(日本語): 常温動作できる超低コスト水素センサを実現することができれば、大規模水素インフラの安全性を確保するためのこれまでにない多点センサシステムを構築できるものと期待される。本研究では,RFIDなどの警報を発することが可能な機能と連動可能なON-OFF機能を有した超低コスト簡易センサの開発を目指した。石英基板に固定化した白金くし形電極にゾルゲル法によりPt/WO3膜を製膜したデバイスを作製し,様々な雰囲気下で応答特性の評価を行った。

要約(英語): To achieve an efficient multi-point hydrogen leakage detection system, an ultra-low-cost hydrogen sensor device that can be operated at room temperature was developed. A device in which a Pt/WO3 film was prepared with a sol-gel method on a platinum interdigital electrode immobilized on a quartz substrate was fabricated, and the response characteristics were evaluated under various atmospheric conditions.

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