光励起による水晶振動子式ガスセンシング検知応答特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15P2-P-29

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): The characteristics response of quartz crystal microbalance gas sensor using thin TiO? film by optical excitation

著者名: 久保田 浩司(東海大学), 岩森 暁(東海大学), 野田 和俊(立命館大学)

著者名(英語): Kouji Kubota(Tokai University), Satoru Iwamori(Tokai University), Kazutoshi Noda(Ritsumeikan University)

キーワード: TiO?薄膜|水晶振動子|紫外光|赤外光|光励起|TiO? thin film|Quartz Crystal Unit|Ultraviolet Light|Infrared Light|optical excitation

要約(日本語): 水晶振動子の電極面に二酸化チタン(TiO?)を成膜し、紫外光(365nm)、赤外光(940nm)のLEDを使用して光励起によるガス物質の応答特性を調査した。その結果、エタノールガスの戻り特性に大きな向上が見られたため、ガスセンサとして重要な、連続的なガス濃度変化に対しても追随した測定が可能であることが示された。また、光励起による効果は熱エネルギーによる影響ではないことも本研究で示された。

要約(英語): We deposited a TiO2 thin film on the electrode surface of a quartz crystal unit and investigated the response characteristics by optical excitation using ultraviolet and infrared light LEDs. The results showed that ethanol gas had a significant effect on the response characteristics, indicating that high response detection is possible.

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