環境湿度変化によるTiO2ナノ粒子を用いた交互積層多層膜による ヘテロコア光ファイバ屈折率センサの成膜特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15P2-P-33

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Evaluation of film formation characteristics of Hetero-core optical fiber refractive index sensor using TiO2 nanoparticles in alternate layer multilayer films by changing environmental humidity

著者名: 後藤 昌史(創価大学), 窪寺 昌一(創価大学), 渡辺 一弘(創価大学), 西山 道子(創価大学)

著者名(英語): Masashi Goto(Soka University), Shoichi Kubodera(Soka University), Kazuhiro Watanabe(Soka University), Michiko Nishiyama(Soka University)

キーワード: 多層膜|ヘテロコア光ファイバ|屈折率センサ|LbL|環境湿度|multilayer film|hetero-core structured fiber|refractive index measurement|Layer-by-Layer method|humidity dependency

要約(日本語): 誘電体多層膜による光ファイバ屈折率センサは,Layer-by- Layer(LbL)法によるウェットプロセスの成膜は,スパッタリング法と比較して,成膜効率が高く製造工程が簡便である.本稿では,このLbL法を用いてPoly-L-lysineとTiO2ナノ粒子の交互多層膜を,環境湿度を変化させて成膜し,屈折率変化に対する透過光強度スペクトル応答性能の評価を行ったので報告する.

要約(英語): In this paper, we report on the performance evaluation of multilayer structures of alternating layers of Poly-L-lysine and TiO2 nanoparticles deposited by Layer-by-Layer (LbL) method, changing the ambient humidity, and the optical loss variation of the transmitted light spectrum in response to the refractive index change.

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