超高真空セル実現に向けた小型イオンポンプの設計及び作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15P2-P-55

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Design and fabrication of a miniature ion pump for an ultra-high vacuum cell

著者名: 大島 直人(日本大学), 倉島 優一(産業技術総合研究所), 本村 大成(産業技術総合研究所), 松前 貴司(産業技術総合研究所), 渡邉 満洋(日本大学), 高木 秀樹(産業技術総合研究所)

著者名(英語): Naoto Oshima(Nihon University), Yuichi Kurashima(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology), Taisei Motomura(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology), Takashi Matumae(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology), Mitsuhiro Watanabe(), Hideki Takagi(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology),

キーワード: マイクロデバイス|超高真空|真空ポンプ|イオンポンプ|メムス|micro device|ultra-high vacuum|vacuum pump|ion pump|MEMS

要約(日本語): 近年冷却原子などなど真空で動作するデバイスの小型化の要求が高まっている。本研究では、デバイスセル内部を気密封止後アクティブに真空排気できる高効率小型イオンポンプの設計及び作製を行った。小型真空ポンプはイオンポンプと同様の原理で動作するものを、チップスケールのガラス及びSiの7層から構成し、陽極接合により実現した。実現したイオンポンプの放電特性を評価し、イオンポンプ内部で放電を確認することができた。

要約(英語): In this research, we designed and fabricated a high-efficiency miniature ion pump for evacuation pump of those devices.We realized that hermetic sealed ion pump was fabricated by anodic bonding of 7 layers of glass and Si in medium vacuum. We also succeeded in generating of a glow discharge by using the fabricated ion pump.

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