PDMSナノシート単層による伸縮性プラズモニックカラーシートの作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 15P2-P-8

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Fabrication of Stretchable Plasmonic Color Sheet using Single Layer of PDMS Nanosheet

著者名: 渡邉 守(豊橋技術科学大学), 斉藤 優人(東京工業大学), 藤枝 俊宣(東京工業大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学), 髙橋 一浩(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Mamoru Watanabe(Toyohashi University of Technology), Masato Saito(Tokyo Institute of Technology), Toshinori Fujie(Tokyo Institute of Technology), Yong Joon Choi(Toyohashi University of Technology), Toshihiko Noda(Toyohashi University of Technology), Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology), Kazuhiro Takahashi(Toyohashi University of Technology)

キーワード: MEMS|プラズモニックカラーシート|表面プラズモン|ヤング率|PDMSナノシート|MEMS|plasmonic color sheet|surface plasmon|Young's module|PDMS nanosheet

要約(日本語): 本研究では,MEMS静電アクチュエータでの低電圧駆動化に向けたプラズモニックカラーシートのヤング率低減のため,新たにPDMSナノシート単層を用いて表面プラズモンを利用した透過波長選択が可能であるかを検証した.従来の保護膜を貼り付けた二層構造と,単層構造の解析を行い,単層構造が光学的に優れていることを明らかにした.また,保護膜を省略したことで,カラーシートが薄膜化可能になり,将来的にMEMS静電アクチュエータでの低消費電力駆動化が期待でき

要約(英語): We fabricated a plasmonic color sheet using a single layer of polydimethylsiloxane (PDMS) nanosheet with a Young's modulus that is an order magnitude lower than that of previously used polystyrene-polybutadiene-polystyrene nanosheet. RCWA analysis results suggest that the single layer structure is better optical properties than the bilayer structure with a protective film. Al subwavelength gratings with a period of 300-600 nm were fabricated on the PDMS nanosheet with a thickness of 400 nm.

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