温度特性の優れた支持基板一体型水晶振動子のQCMへの応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 16A2-A-2

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Application of a quartz crystal resonator bonded to support substrate with excellent temperature characteristics to QCM

著者名: 安田 倉土(新潟大学), 佐谷 元(新潟大学), 寒川 雅之(新潟大学), 安部 隆(新潟大学)

著者名(英語): Kuraudo Yasuda(Niigata University), Hajime Satani(Niigata University), Masayuki Sohgawa(Niigata University), Takashi Abe(Niigata University),

キーワード: 水晶振動子マイクロバランス|バルク弾性波デバイス|周波数温度係数|支持基板|水晶振動子|Quartz crystal microbalance|Bulk acoustic device|TCF|Support substrate|Quartz resonator

要約(日本語): 本研究では,支持基板を接着することにより,機械的強度に優れ,より高い周波数と感度を有する水晶振動子を開発した。また,作製した水晶振動子は高い安定性で発振可能であった。浮遊電極の水晶基板のX軸に対して90°の角度でATカット水晶基板を張り合わせた場合、電極のないATカット水晶の理論周波数温度係数に近いゼロ温度係数を示すことがわかった。提案した振動子をQCMセンサとして評価したところ,質量感度はSauerbreyの式と一致した。

要約(英語): In this study, a quartz crystal unit with superior mechanical strength, higher frequency and sensitivity was developed by bonding the support substrate. When an AT-cut crystal base was used as the support base, stable oscillation and ultra-high sensitivity detection limits were demonstrated.

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