酸化物型リチウムイオン全固体電池のオンチップ集積プロセスの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 16A2-M-4

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Development of on-chip integration process for oxide-type lithium-ion all solid-state batteries

著者名: 酒井 章照(東北大学), 小野 崇人(東北大学)

著者名(英語): Ayanobu Sakai(Tohoku university graduate school), Takahito Ono(),

キーワード: オンチップ固体イオン電池|マイクロファブリケーション|固体電解質|正極材料|電解めっき|On-chip solid-state battery|Microfabrication|Solid-state electrolyte|Positive electrode material|Electrodeposition

要約(日本語): 本論文ではオンチップ集積化のために電気めっきを用いた酸化物型リチウムイオン全固体電池の新規開発を行った。固体イオン電池の電解質膜(LLZO)および電極材料(Li-Co-O)を評価し、また、一括作製のプロセス技術も開発するとともに固体電池用蒸着イオン膜の予備実験を行い動作を確認した。

要約(英語): This paper presents the novel development of an oxide-type lithium-ion all solid-state battery using electroplating for on-chip integration. The solid-state electrolyte film (LLZO) and electrode material (Li-Co-O) for the solid-state ion battery are evaluated. Process technology of the batch-fabrication is also developed. Preliminary experiments on the deposited ionic films for the solid-battery are performed.

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