真空アニールしたMEMS振動発電素子用カリウムドープSiO2エレクトレットの 寿命に対するH2OとH2の影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 16P2-P-11

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Effect of H2O and H2 gas to the Lifetime of Vacuum-annealed Potassium-doped SiO2 Electret for MEMS Vibrational Energy Harvester

著者名: プトラ レファルディ(東京大学), 小澤 孝拓(東京大学), 本間 浩章(東京大学), 福谷 克之(東京大学), 年吉 洋(東京大学)

著者名(英語): Refaldi Putra(The University of Tokyo), Takahiro Ozawa(The University of Tokyo), Hiroaki Honma(The University of Tokyo), Katsuyuki Fukutani(The University of Tokyo), Hiroshi Toshiyoshi(The University of Tokyo),

キーワード: カリウムドープ SiO2 エレクトレット|信頼性調査|H2OとH2ガスの効果|表面・界面分析|エネルギーハーベスティング MEMS デバイス|Potassium-ion SiO2 electret|Reliability Study|Effect of H2O and H2 gas|Surfaces/Interfaces Analysis|Energy Harvesting MEMS device

要約(日本語): この研究の目的は、H2O および H2 ガスの効果における K-SiO2 の信頼性のメカニズムを解明し、真空アニールされたサンプルの長寿命を理解することです。 私たちの調査結果は、表面が K-SiO2 サンプルの分解に主要な役割を果たしていることを示唆しています。

要約(英語): This work aims to elucidate the mechanism of reliability of K-SiO2 in the effect of H2O and H2 gases to understand the longer lifetime in the vacuum-annealed sample. Our finding suggests that the surface plays major role in the degradation of K-SiO2 sample.

PDFファイルサイズ: 375 Kバイト