クワッド質量共振器でリサージュモード制御を使用したローレンツ力MEMS磁力計

カテゴリ: 部門大会

論文No: 16P2-P-12

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Lorentz Force MEMS Magnetometer using Lissajous Mode Control on a Quad Mass Resonator

著者名: Zhang Linxin(東北大学), 塚本 貴城(東北大学), 田中 秀治(東北大学)

著者名(英語): Linxin Zhang(Tohoku University), Takashiro Tsukamoto(Tohoku University), Shuji Tanaka(Tohoku University),

キーワード: MEMS|磁力計|周波数変調|ローレンツ力|リサージュモード|MEMS|Magnetometer|Frequency modulation|Lorentz force|Lissajous mode

要約(日本語): この論文では、クワッド質量共振器を使用したリサージュ周波数変調 (LFM) ローレンツ力 MEMS 磁力計について報告します。 共振器の 2 つの軸は、2 つのフェーズ ロック ループによって制御されます。 検出電流を適用して、磁場下で両方の軸の有効剛性を変調し、共振周波数を変調しました。 本論文では,磁力計の原理を紹介し,磁力計の基本特性を実験的に評価した。

要約(英語): This paper reports a Lissajous frequency modulated (LFM) Lorentz force MEMS magnetometer using a quad mass resonator. Two axes of the resonator were controlled by two phase-locked loops. Sensing currents were applied to modulate the effective stiffness of both axes under the magnetic field, which modulates the resonant frequencies. In this paper, the principle of magnetometer was introduced, and the basic properties of the magnetometer were experimentally evaluated.

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