窒化シリコン柱を用いた可視域用ガウシアン-トップハット型ビーム整形メタサーフェスレンズ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 16P2-P-17

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Gaussian-to-Top Hat Beam Shaping Metasurface Lens for a Visible Wavelength Based on Nanopillars Made of Silicon Nitride

著者名: 山田 遼太(東京農工大学), 池沢 聡(東京農工大学), 岩見 健太郎(東京農工大学)

著者名(英語): Yamada Ryota(Tokyo Universty of Agriculture and Technology), Ikezawa Satoshi(Tokyo University of Agriculuture and Technology), Ikezawa Kentaro(Tokyo University of Agriculuture and Technology),

キーワード: メタサーフェス|ビームシェイピング|トップハットビーム|窒化シリコン|可視光|Metasurface|Beam shaping|Top hat beam|Silicon nitride|Visible wavelength

要約(日本語): 本論文では、窒化ケイ素メタサーフェスレンズを用いた可視光波長532nmの高透過率ガウシアン-トップハットビームシェイパー(GTBS)について報告する。製作したGTBSは95.0%の透過率を達成した。このメタサーフェスは厚さ1.5μmと薄いため、光電センサなどのセンシングシステムや内視鏡の撮像システムにおいて、均一な照度を得るための光学素子小型化・高効率化に貢献することが期待される。

要約(英語): This paper reports the novel high transmittance Gaussian-to-top hat beam shaper (GTBS) for the visible wavelength of 532 nm using a silicon nitride metasurface lens. The fabricated GTBS achieved a transmittance of 95.0%. Since this metasurface is only 1.5 μm thick, this achievement will contribute to miniaturization and higher efficiency optical element that produces illumination with a uniform intensity of sensing systems such as photoelectric sensors and imaging systems for endoscopes.

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