DMA溶液を用いた圧電PVDFフィルムのウェットエッチング特性に関する研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 16P2-P-21

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Piezoelectric PVDF Film Wet Etching Characteristics ?in DMA Solution

著者名: 吉田 圭吾(和歌山大学), 幹 浩文(和歌山大学)

著者名(英語): Keigo Yoshida(Wakayama University), Hirofumi Miki(Wakayama University),

キーワード: 圧電PVDFフィルム|触覚センサ|微細加工|DMA溶液|ウェットエッチング|PVDF Film|Tactile sensor|Microfabrication|DMA solution|Wet etching

要約(日本語): 近年,医療用触覚センサのセンシング素子材料として圧電PVDF(PolyVinylideneDiFluoride)フィルムが注目されるようになり,PVDFの微細加工特性の解明が求められている.本発表では,有機化合物DMA(N,N-Dimethylacetamide)溶液をエッチング液とし,圧電PVDFフィルムのウェットエッチングプロセスにおけるPVDFの温度履歴やDMA溶液の攪拌条件およびエッチングマスクパターンの配置角度などが圧電PVD

要約(英語): To understand the properties of PVDF micromachining is important in microdevices especially in medical tactile sensors. The authors focused on wet-etching technology and DMA(N,N-Dimethylacetamide) solution was used as the PVDF etchant. The influence of etching conditions to the PVDF etching rate and the etched 3-D structure will be reported.

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