MEMS触覚ディスプレイのためのSMA厚膜によるせん断動作機構の形成および動的特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 16P2-P-23

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Fabrication and dynamic evaluation of shearing-motion-type mechanism using SMA thick-film actuator for MEMS tactile display

著者名: 佐藤 勇人(山形大学), 丸山 顕(山形大学), 齋藤 涼(山形大学), 峯田 貴(山形大学)

著者名(英語): Hayato Sato(Yamagata University), Akira Maruyama(Yamagata University), Ryo Saito(Yamagata University), Takashi Mineta(Yamagata University),

キーワード: 触覚ディスプレイ|SMA|せん断|MEMS|振動|tactile display|SMA|shear|MEMS|vibration

要約(日本語): 皮膚が高感度なせん断振動を発生するためのMEMS触覚ディスプレイの機構部を、アレイ状の厚膜SMAアクチュエータ(10 μm)とコイルばねにより形成した。形成したデバイスの動作特性評価により、振幅と発生力とも指先の知覚限界を上回る出力が得られる見通しを得た。また、OFPRを遮光層にして未露光部のSU-8を厚膜犠牲層に用いる手法を考案し、ピンがキャップ部から突き出す構造を形成した。

要約(英語): MEMS tactile display mechanism was fabricated using arrayed SMA thick-film actuator (10 μm) and coil springs to generate shear vibration. It was able to generate amplitudes and forces seem to be sufficient for tactile stimulation to finger skin. In addition, fabrication technique for protruding pin and cap structure by using non-exposed SU-8 thick sacrificial layer with shading layer of OFPR resist.

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