Twin-T型ノッチフィルタ白金超薄膜水素センサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 16P2-P-35

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Development of Ultra-Thin Platinum Hydrogen Sensors with a Twin-T Filter Circuit

著者名: 若林 翔貴(岡山大学), 森 貴啓(岡山大学), 王 ?(岡山大学), 堺 健二(岡山大学), 紀和 利彦(岡山大学)

著者名(英語): Shoki Wakabayashi(Okayama University), Takahiro Mori(Okayama University), Jin Wang(Okayama University), Kenji Sakai(Okayama University), Toshihiko Kiwa(Okayama University),

キーワード: 水素|ガスセンサ|twin-T回路|白金|超薄膜|hydrogen gas|gas sensor|twin-T circuit|platinum|ultra-thin film

要約(日本語): 白金超薄膜を用いた抵抗変化型センサを作製し,白金超薄膜抵抗体としてTwin-T型ノッチフィルタ回路に組み込むことで,Twin-T型ノッチフィルタセンサを新しく開発した。さらに,複数センサ同時水素検知を目的としてTwin-T 型ノッチフィルタセンサを3つ直列に接続し、Airガスと水素ガスを曝露した場合の周波数特性を測定した。その結果、各センサの対応するノッチ周波数でのみ変化がみられ、複数センサの同時水素検知が可能であることを確認した。

要約(英語): An ultra-thin platinum hydrogen sensor with a twin-T circuit has been proposed and developed simultaneous detection of hydrogen gas with multiple sensors. This paper addresses that the sensor could detect hydrogen gas with multiple sensors by using the series circuit of the twin-T type circuit with ultra-thin Pt films.

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