ガス感応膜の電気的特性を複数同時に計測可能な 画素混載型CMOSアレイセンサの提案

カテゴリ: 部門大会

論文No: 16P2-P-43

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Proposal of CMOS mixed-pixel array sensor enables simultaneous measurement multiple electrical property of gas sensitive membranes

著者名: 和田 武(豊橋技術科学大学), 木村 安行(豊橋技術科学大学), 飛沢 健(豊橋技術科学大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Takeru Wada(Toyohashi University of Technology), Yasuyuki Kimura(Toyohashi University of Technology), Takeshi Hizawa(Toyohashi University of Technology), Yong-Joon Choi(Toyohashi University of Technology), Kazuhiro Takahashi(Toyohashi University of Technology), Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology), Toshihiko Noda(Toyohashi University of Technology),

キーワード: ガスセンサ|CMOSセンサ|電位センサ|ガス感応膜|マルチガス検出|Gas sensor|CMOS sensor|Potentiometric sensor|Gas sensitive membrane|Multi gas detection

要約(日本語): 本研究ではガス感応膜の電気的特性の多項目同時計測を行う混載型アレイセンサを提案した.原理検証として電位画素と同時に集積可能な抵抗検出画素を設計した.感応膜抵抗が 100k~1MΩ で変化したと仮定したときの出力波形シミュレーションから300 mV の出力変化が得られた. 本センサ構成によって適用可能な感応膜種の増加,ひいてはガスセンシングの性能向上につながることが期待される.

要約(英語): we proposed a mixed array sensor for simultaneous measurement of multiple electrical characteristics of gas-sensitive membranes. We designed a resistance detection pixel that can be integrated with the potential pixel as a proof of principle. The output waveform simulation obtained an output variation of 300 mV when the resistance of the sensing membrane is assumed to vary from 100 k to 1 MΩ. This sensor configuration is expected to increase the number of applicable sensitized membranes.

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