IrOx薄膜を用いた溶存酸素イメージセンサの提案と評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 16P2-P-45

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Proposal and Evaluation of Dissolved Oxygen Image Sensor Using IrOx Thin Film

著者名: 上田 玲奈(豊橋技術科学大学), 岩土 遼介(豊橋技術科学大学), 赤井 大輔(豊橋技術科学大学), 飛沢 健(豊橋技術科学大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Ueda Rena(Toyohashi University of Technology), Iwatsuchi Ryosuke(Toyohashi University of Technology), Akai Daisuke(Toyohashi University of Technology), Hizawa Takeshi(Toyohashi University of Technology), Choi Yong Joon(Toyohashi University of Technology), Takahashi Kazuhiro(Toyohashi University of Technology), Noda Toshihiko(Toyohashi University of Technology), Sawada Kazuaki(Toyohashi University of Technology),

キーワード: 溶存酸素|酸化イリジウム|電位差分析法|電位検出型アレイセンサ|イメージセンサ|Dissolved oxygen|Iridium oxide|Potentiometry|Potentiometric array sensor|Image sensor

要約(日本語): 静止溶液での微小領域の測定に適した電位差分析法を用いて,128×128画素の溶存酸素(DO)イメージセンサを作製した.電位検出型アレイセンサに20 nmのイリジウム薄膜をスパッタリングし,過酸化水素水で酸化させることにより,酸化イリジウム(IrOx)を用いたDOイメージセンサを作製した.作製したセンサの溶存酸素応答は,増加方向に対して19.6 mV/log[O2]ppm,減少方向に対して18.1 mV/log[O2]ppmであった.

要約(英語): A 128×128 pixel dissolved oxygen (DO) image sensor was fabricated using potentiometric analysis. An iridium oxide (IrOx)-based DO image sensor was fabricated by sputtering a 20 nm thin film of iridium onto a potentiometric sensor array and oxidizing it with hydrogen peroxide solution. The dissolved oxygen response of the fabricated sensor was 19.6 mV/log[O2]ppm in response to the increasing direction and 18.1 mV/log[O2]ppm in response to the decreasing direction.

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