MEMSひずみセンサを用いた傾斜角センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 16P2-P-56

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Inclination sensor using MEMS strain sensor

著者名: 髙木 卓真(東京大学), 小林 健(産業技術総合研究所), Zymelka Maria(東京大学), 山本 道貴(東京大学), 高松 誠一(東京大学), 伊藤 寿浩(東京大学)

著者名(英語): Takuma Takagi(The University of Tokyo), Takeshi Kobayashi(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology), Maria Zymelka(The University of Tokyo), Michitaka Yamamoto(The University of Tokyo), Seiichi Takamatsu(The University of Tokyo), Toshihiro Itoh(The University of Tokyo),

キーワード: 傾斜角センサ|MEMS ひずみセンサ|3Dプリンター|ピエゾ抵抗|片持ち梁|Inclination sensor|MEMS strain sensor|3D printer|Piezoresistance|Cantilever beam

要約(日本語): この論文では,低周波の人間動作を計測するために,3Dプリンタで造形したアクリル片持ち梁上に,タングステン球とMEMSひずみセンサを搭載した傾斜角センサを提案する。_x000D_ MEMSひずみセンサが薄いため,剛性が低いアクリルの変形に追随し,傾斜角を抵抗値の変化として検出することができた。

要約(英語): In this paper, we propose a tilt angle sensor with a tungsten sphere and a MEMS strain sensor mounted on a 3D printed acrylic cantilever beam to measure low-frequency human motion._x000D_ Because the MEMS strain sensor is thin, it follows the deformation of the acrylic, which has low rigidity, and the tilt angle can be detected as a change in resistance value.

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