マグネトロンスパッタを用いたベーマイト上のSERS活性基板の作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 16P2-P-59

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Fabrication of SERS active substrate on baemite using magnetron sputtering

著者名: 三枝 峻也(兵庫県立大学), 田中 拓(兵庫県立大学), 納谷 昌之(兵庫県立大学), 福岡 隆夫(兵庫県立大学), 天野 壮(兵庫県立大学), 内海 裕一(兵庫県立大学), 山口 明啓(兵庫県立大学)

著者名(英語): Shunya Saegusa(University of Hyogo), Taku Tanaka(University of Hyogo), Masayuki Naya(University of Hyogo), Takao Fukuoka(University of Hyogo), Sho Amano(University of Hyogo), Yuichi Utsumi(University of Hyogo), Akinobu Yamaguchi(University of Hyogo),

キーワード: 表面増強ラマン散乱|マイクロ流体デバイス|センシング|ナノ構造|スパッタリング|Surface-enhanced Raman scattering|Microfluidic devices|Sensing|Nano structures|Sputtering

要約(日本語): 表面増強ラマン散乱(SERS)は高感度で、ラベルフリーで、長時間のバイオや環境分析が可能な分子検出法である。私たちは作製が容易で高分解能なセンサを広範囲作製可能な手法としてベーマイトを使用したSERS作製方法に着目している。本発表では、この手法を従来と異なりスパッタで作製した基板の評価とこのセンサを組み入れたマイクロ流体デバイスについて述べる。

要約(英語): Surface-enhanced Raman scattering (SERS) is a highly sensitive, label-free, and long-lasting molecular detection method. Especially, SERS fabrication method using baemite is easy to fabricate a wide range of high-resolution sensors. In this presentation, we describe the evaluation of a substrate fabricated by sputtering and a microfluidic device incorporating this method.

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