超薄型Siひずみゲージとアクリル梁構造を用いた圧力センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 16P2-P-60

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Pressure sensor using ultra-thin Si strain gage and acrylic beam structure

著者名: 伊藤 恭平(東京大学), 小林 健(産業技術総合研究所), Zymelka Maria(東京大学), 山本 道貴(東京大学), 高松 誠一(東京大学), 伊藤 寿浩(東京大学)

著者名(英語): Kyohei Ito(The University of Tokyo), Takeshi Kobayashi(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology), Maria Zymelka(The University of Tokyo), Michitaka Yamamoto(The University of Tokyo), Seiichi Takamatsu(The University of Tokyo), Toshihiro Itoh(The University of Tokyo),

キーワード: 圧力センサ|ひずみゲージ|アクリル|3 D プリント|ソフトロボティクス|Pressure sensors|Strain gages|Acryl|3D-printing|Soft robotics

要約(日本語): 我々は超薄型Si歪みゲージとアクリル梁構造を組み合わせた有機-無機ハイブリッド圧力センサを開発した。このセンサーはゲージ率4.8を示し、荷重と抵抗変化率の関係において線型形成を示した。本センサは柔軟で高精度なため、ソフトロボティクス分野での応用が期待される。

要約(英語): We have developed an organic-inorganic hybrid pressure sensor that combines ultra thin silicon strain gages and an acrylic beam structure. The sensor exhibited a gage factor of 4.8 and showed line formation in the relationship between load and rate of change of resistance. The sensor is expected to be applied in the field of soft robotics because of its flexibility and high accuracy.

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