Simultaneous poling of multiple piezoelectric devices

カテゴリ: 部門大会

論文No: 16P2-P-7

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Simultaneous poling of multiple piezoelectric devices

著者名: ベルガラ アンドレア(東北大学), シェー サムエル(リンショーピング大学), 田中 秀治(東北大学)

著者名(英語): Andrea Vergara(Tohoku University), Samuel Hsieh(Linkoping University), Shuji Tanaka(Tohoku University),

キーワード: メムス|PZT薄膜|圧電薄膜|ポーリング|ウエハーレベル処理|MEMS|PZT thin film|Piezoelectric film|Poling|Wafer-level processing

要約(日本語): 加工時間を大幅に節約するために、複数の圧電デバイスを同時にポーリング技術が提案する。 複数のデバイスの上部電極は、一時的な補助ワイヤを使用して接続とした。 ポーリングの均一性と反対のポーリング方向の調査を行った。その結果、回路内の均一性は良好で、反対のポーリング方向も可能であることが分かった。

要約(英語): Simultaneous poling of multiple piezoelectric devices is proposed to achieve significant time saving. The top electrodes of the devices are connected using temporary auxiliary wires. The poling uniformity and opposed poling directions were briefly investigated. The uniformity was good within a circuit, and opposed poling directions were possible.

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