室温形成したBaTiO3厚膜の振動発電特性

カテゴリ: 部門大会

論文No: 16P2-P-8

グループ名: 【E】第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2022/11/07

タイトル(英語): Generation energy by vibration of BaTiO3 thick film formed at room temperature

著者名: 川上 祥広(電磁材料研究所)

著者名(英語): Yoshihiro Kawakami(Research Institute for Electromagnetic Materials),

キーワード: 振動発電|鉛フリー圧電セラミクス|厚膜|エアロゾルデポジション|室温形成|Vibration energy harvester|Lead-free piezoelectric ceramics|thick film|aerosol deposition|film formed at room temperature

要約(日本語): 振動発電技術はセンサネットワークを支える重要な技術であり圧電方式では材料の鉛フリー化が課題の一つである。BaTiO3は鉛フリーの圧電セラミックスとして優れた特性を示すが1000℃以上の高温で焼結させる必要がある。一方エアロゾルデポジション法は室温で緻密な厚膜形成が可能であり、厚さ10～30 μmの膜厚に室温成膜したBaTiO3膜の振動発電特性の評価を行った結果、膜厚が厚いほど発電エネルギーが大きくなることが確認された。

要約(英語): Vibration Energy Harvester is an important technology for supporting sensor networks, and lead-free piezoelectric materials are required for such devices. As a result of evaluating the generation energy by vibration of the BaTiO3 film formed at room temperature, it was confirmed that the generation energy is increasing with thickness of the film.

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