コルゲート構造を用いたLIG圧力センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6P2-D-2

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): LIG pressure sensor using corrugated structure

著者名: 小田 怜(慶應義塾大学), 中島 利八郎(慶應義塾大学), 高橋 英俊(慶應義塾大学)

キーワード: レーザ誘起グラフェン|圧力センサ|コルゲート構造|レーザ加工|ひずみゲージ|laser-induced graphene|pressure sensor|corrugated structure|laser processing|strain gauge

要約(日本語): レーザー誘起グラフェン(LIG)ひずみゲージを用いたコルゲート構造を持つ圧力センサについて報告する。コルゲート構造は、UVレーザを用いてポリイミド(PI)フィルム上に形成される。LIGはひずみゲージとして使用でき、CO2レーザで形成する。2種類のレーザを用いることで、簡易的なプロセスで高感度な圧力センサを実現することができる。本研究では、コルゲートセンサとメンブレンセンサの比較評価を行った。

要約(英語): This paper reports on a pressure sensor with a corrugated structure based on laser-induced graphene (LIG) strain gauges. Two types of lasers can be used to easily realize a pressure sensor with high sensitivity. In this experiment, we compare the corrugated sensor with a membrane sensor.

PDFファイルサイズ: 1,309 Kバイト