MEMS熱伝導型ガスセンサを用いた混合ガスのリアルタイム濃度センシング技術の提案と実証

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6P2-M-5

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): FAST AND SIMULTANEOUS GAS SENSING METHOD IN MIXED GASES USING MULTIPLE MICROMACHINED THERMAL CONDUCTIVITY DETECTORS

著者名: 王 萍(東芝), 久留井 慶彦(東芝), 藤原 直也(東芝 研究開発センター), 秋元 陽介(東芝), 平松 直樹(東芝), 石橋 史隆(東芝 研究開発センター), 北川 良太(東芝), 山﨑 宏明(東芝), 小島 章弘(東芝)

キーワード: MEMS|熱伝導型センサ|混合ガス|同時センシング|CCU|MEMS|Thermal conductivity detector|Mixed Gases|Simultaneous Gas Sensing|CCU

要約(日本語): 本報告では、複数個のMEMS熱伝導型センサを用いて、混合ガス中のガス濃度を高速かつ同時にモニターする新しいセンシング方法を提案する。提案する手法より、実際のCO2電解セルでの実証実験では、H2、CO2、COの混合ガスにおいて、従来法より各ガス濃度を迅速にモニターすることに成功した。本提案手法は、CO2の資源化技術の高効率化に貢献することが期待できる。提案方法と実証実験の詳細について述べる。

要約(英語): We report a novel method for fast simultaneous monitoring of gas concentrations in a gas mixture by using small micromachined sensors. Demonstration tests were conducted in a CO2 electrolysis cell, each gas concentration was successfully monitored for a mixture of H2, CO2, and CO gases.

PDFファイルサイズ: 875 Kバイト