薄膜PZTアクチュエータとピエゾ抵抗センサを有するMEMS可変焦点液体レンズ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6P3-C-1

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): MEMS Varifocal Liquid Lens with PZT Thin Film Actuators and Piezoresistive Sensors

著者名: 唐 正男(東北大学), 宗田 玲於(Ecole des Mines de Saint-Etienne, FRANCE), ベルガラ アンドレア(東北大学), 岡谷 泰佑(東北大学), 鈴木 裕輝夫(東北大学), 田中 秀治(東北大学)

キーワード: 微小電気機械システム|可変焦点レンズ|圧電アクチュエータ|埋設型ピエゾセンサ|PZT薄膜|Micro Electromechanical System|Varifocal lens|Piezoelectric actuator|Buried piezoresistive sensors|PZT thin film

要約(日本語): 本研究では、新規のMEMS可変焦点液体レンズを提案する。薄膜PZTアクチュエータは、40 V DC下で約15 μmの面外静的変位を示し,理論計算およびシミュレーション結果と良好に一致した。焦点変化は顕微鏡で観察評価し,駆動電圧15 V時の54.9 mmから、35 V DC時の31.6 mmまで焦点距離が変化した。

要約(英語): In this paper, the design, prototyping and evaluation of a novel MEMS varifocal liquid lens is presented. After fabrication, the actuator can achieve around 15 μm static displacement under 40 V DC applied voltage, which matches well with simulation results. The shifting of the focus can be clearly observed by microscope and focal length can be tuned from 54.9 mm (15 V) to 31.6 mm (35 V).

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