伸縮性可変カラーシートに向けたエラストマーナノシートへのプラズモニックメタサーフェス転写のプロセス検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 6P3-C-3

グループ名: 【E】第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日: 2023/10/31

タイトル(英語): Development of transfer process of plasmonic metasurface to elastomer nanosheet toward stretchable tunable color sheet

著者名: 大石 匠真(豊橋技術科学大学), 渡邉 守(豊橋技術科学大学), 齋藤 優人(東京工業大学), 藤枝 俊宣(東京工業大学), 崔 容俊(豊橋技術科学大学), 野田 俊彦(豊橋技術科学大学), 澤田 和明(豊橋技術科学大学), 高橋 一浩(豊橋技術科学大学)

キーワード: 表面プラズモン|SBSナノシート|エラストマーナノシート|2回転写プロセス|メタサーフェス|Suface plasmon|SBS nanoheet|Elastomer nanosheet|double transfer process|Metasurface

要約(日本語): 本研究では、伸縮性可変プラズモニックカラーシートの作製に向け、膜厚200 nmのエラストマーナノシート上に1次元および2次元金属ナノ周期構造を作製するプロセス技術の開発を行った。エラストマーナノシートはナノ構造加工時の収束イオンビーム(FIB)によって弾性が失われることから、ダメージ回避のため、FIB加工時にレジストを犠牲層としたナノ構造転写プロセスを行い、転写された1Dおよび2Dナノ構造由来の構造色取得に成功した。

要約(英語): We developed metal nano periodic structures on a 200-nm-thick elastomer nanosheet for stretchable tunable plasmonic color sheets. To avoid process damage due to focused ion beam process, 1D and 2D nanostructures transfer process using sacrificial etching was performed. _x000D_ As a result, structural color derived from transferred nanostructures was successfully demonstrated.

PDFファイルサイズ: 828 Kバイト